本文主要是真空室專用真空係統的（de）介紹。真空係統（tǒng）的核心是真（zhēn）空室，它是針對具體應用量身定做的。它包括應用並將其可靠地與外部分離或防止環境受內部流程影響。不管幹燥過程是否需要高真空環境，等離子體過程都需（xū）要在（zài）中或高真空環境下進行，而表麵研究也需要在高真空環境下進行：真空室必須始終機械地承受其與大（dà）氣的壓差。

真空室是廣泛應用於現代製造工業和科學研究的基本裝置之一，例如電子工業、信（xìn）息產業的大規模印刷線路、集成電（diàn）路和大（dà）麵積超導薄膜的製備等，真空沉積過程中通常對真空度（dù）都有較高的要求。真空沉積時真（zhēn）空室的漏氣、真（zhēn）空室壁麵的（de）放氣和被蒸發材料本身的放氣都可能導致真空（kōng）室內真空度的（de）快（kuài）速變差，因此需要采用相應的（de）措施快速改（gǎi）善真空室內的真空度。目前，在保證真空室良好（hǎo）密封（fēng）性的（de）前提下，采用具有大抽速的鈦升華泵可以使真空室快速達到超高真空度（dù）。由於鈦（tài）在升化和沉積的過程中，與活性（xìng）氣體結合成穩定的化合（hé）物——固相的TiO或TiN，從而能夠快速將真空室內的氣體分子抽除（chú）。

針對現有技術的不足，本發明的目的就是提供一種費用（yòng）相對低廉的快速提高真空室專用（yòng）真空（kōng）係統真空度的方（fāng）法。

為實現上述目（mù）的，国产精品亚洲片夜色在线提供一種快速提高真空室真空度的（de）方法，在真（zhēn）空室內（nèi），使活性高且（qiě）穩定性好的金（jīn）屬蒸（zhēng）發（fā）形成蒸氣粒子，並將該蒸氣粒（lì）子沉積於金屬板表麵形成金屬膜，金屬粒（lì）子及其形成的新鮮金屬膜可以快速吸附真空室內的氣體分子，並進一步生成穩定（dìng）的（de）固態物（wù）質。在真空室內，采用蒸發方式，使少量活性（xìng）高（gāo）且穩定性好的金屬材料蒸發為蒸氣粒子，蒸氣（qì）粒子迅速與（yǔ）真空室內的水蒸氣（qì）、氧氣、氫氣等氣體（tǐ）發生反應，生成穩定的固態物質，從而達到快（kuài）速（sù）提高真空室的真空度的目的（de）。采用本方法提高真（zhēn）空室專用真空係統的真空度，不僅費用低廉而且迅速高效。

經過真空室專用真空係統的介紹，為達到最佳（jiā）配置，選擇真空係統時，應考慮下述各點：

1.確定工作真空（kōng）範圍

首先必須檢查確（què）定每一種工藝要求的真空度。因為（wéi）每一種工藝都有其適應的真空度範圍，必須認真研究確定（dìng）之。

2.確定極限真空度

在確定了工藝（yì）要求的真空度的基礎上檢查真空泵係統的極限真空度，因為係統的極（jí）限真空度決（jué）定了（le）係（xì）統的最佳工作真空度。一般來講，係統的極限（xiàn）真空（kōng）度比（bǐ）係統的工作真（zhēn）空度低20%，比前級（jí）泵的極限真空度低50%。

3.真空容（róng）積

檢查確定達到要（yào）求的（de）真空度所需要的時間、真空管道的流阻與（yǔ）泄漏。考慮達到要求真空度後在一定工藝要求條件（jiàn）下維持真空需要的抽氣速率。

4.被抽（chōu）氣體種類與抽氣量

檢查（chá）確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因（yīn）為如（rú）果被抽氣體種類與真空（kōng）泵內液體發生（shēng）反應，真空係統將被汙染。同時必須考慮確定合適（shì）的（de）排氣（qì）時間與（yǔ）抽氣過程中產生（shēng）的氣體量（liàng）。