眾所周知，半導體工藝水平決定了晶體管尺寸大小。在半導體廠或光電廠（chǎng）中，真空係統應用於提供製程設備的真空吸盤或吸筆來搬運傳送晶片或玻（bō）璃，為半導體製（zhì）程中（zhōng）相當重（chóng）要之支援係統。本篇（piān）文章（zhāng）涉及（jí）半導體製（zhì）程技術領域，在介紹真空係統在半導體製程中的（de）應用（yòng）之前，我司打算（suàn）先對（duì）半導體製程和真空係統做（zuò）些簡單的介紹。

在（zài）真（zhēn）空係（xì）統中，真空（kōng）針對大氣而（ér）言，表示一特定（dìng）空間或係統內部分氣體被排出，其內部空間的壓力小於（yú）大氣壓力，則稱此空間為真空或為（wéi）真空狀態，簡單言之，空間內壓力低於一大氣壓力即為（wéi）真空。在（zài）高科技製（zhì）程中所（suǒ）要求的高真空或超高真空，就必須要有足夠的（de）真（zhēn）空（kōng）技術或設備才能達成。

半導體製程專用（yòng）真空係統的（de）真空度要求（qiú）一般為700-~500mmHg之間，僅落在粗略（luè）真空範圍內，而製程設（shè）備真空度要求則視其應用範圍而定，而落在中真空度與超高真空度或以上之範圍（wéi）。

不同類型的真空泵組合而成的係（xì）統，真空度（dù）也有所不一樣，關於真空係（xì）統的類型，東莞市国产精品亚洲片夜色在线（kè）真空（kōng）科技有限公司整理出幾大類。

真空係（xì）統的類型有三種（zhǒng）：

1.低（dī）真（zhēn）空係統

2.中真空係統

①由（yóu）羅茨泵為主泵（bèng）串聯機械（xiè）泵而構成（chéng）的（de）係統；

②由油（yóu）增壓泵為主泵串聯（lián）機械泵而構成的係統；

③由羅茨泵串（chuàn）聯小羅茨泵，再串聯機械泵而構成的係統。

3.高（gāo）真空係統

①由（yóu）擴散泵為（wéi）主泵串聯羅茨泵，再串聯機械泵而構成的係統；

②由擴散泵為主泵（bèng）串聯機械泵而構成的真空係統；

③由擴散泵為主泵串聯油增壓（yā）泵，再串（chuàn）聯機械泵（bèng）而構成（chéng）的（de）真空係統。

根據上述所提到的內容，在（zài）半導體製程中（zhōng），最佳的方法就是選（xuǎn）擇應用高真空係統，高真空係（xì）統（tǒng）可以由不同的真空設備組合而成。

事實上簡單的真空係統隻是能獲得一個粗真空，而想要（yào）獲得（dé）高真空時（shí），通常在真空係統中串聯一個高真空泵，比如羅茨泵和螺（luó）杆（gǎn）泵等都是獲得高真空的泵。當串聯一個高真空泵之（zhī）後（hòu），通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能（néng）單獨保持真空。如果所串（chuàn）聯的高真空（kōng）泵是一個油擴（kuò）散泵，為了（le）防止大量的（de）油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據要求，還可以在管路（lù）中加（jiā）上除（chú）塵器、真空繼電器規頭（tóu）、真（zhēn）空軟連接管道（dào）、真（zhēn）空泵入口放氣閥，散（sàn）熱器等等，這樣就構成（chéng）了一個較（jiào）完善的高真空係統。

關於半導體製程和真（zhēn）空係統，小（xiǎo）編就介紹（shào）到這裏，如果您仍對真空係統在（zài）半（bàn）導體製程中的應用有什麽疑惑的話（huà），隨時可以聯係我司。