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2019-07-23

旋(xuán)片真空泵在(zài)等(děng)離(lí)子清洗技(jì)術中的應用

等離子清洗(PLASMA)是一種依靠處於“等離子(zǐ)態”的(de)物質的“活化作用”,來去除物體表(biǎo)麵汙漬的一種清洗方法。它屬於(yú)電子工業清洗中的幹法清洗(xǐ),過(guò)程(chéng)中需要真空泵製(zhì)造一定的真空(kōng)條件(jiàn)滿足清洗所需,東莞市国产精品亚洲片夜色在线真空科技有限(xiàn)公司來說說旋片真空(kōng)泵在等離子清(qīng)洗技術中(zhōng)的(de)應用過(guò)程是(shì)怎麽一(yī)回事,以及講解一下(xià)旋片真空泵具有什麽特點。

 

等離子清洗所需要的等離子體主要通過(guò)特定的氣體分子在真空、放電(diàn)等特殊場合下產生,像低壓(yā)氣體輝光等離(lí)子體。簡單地如開頭說,等離子清洗需要在真空狀態下進行(一般需保持在100Pa左(zuǒ)右(yòu)),所以需(xū)要德(dé)國旋片真空泵進行抽真空作業。


旋片真空泵

 

等離子清洗(xǐ)用旋(xuán)片真空泵的過程是如何(hé)的?

 

其主要過程包括:首先將需要清洗的(de)工件送入真空室固(gù)定,啟動旋片真空泵等裝置開(kāi)始(shǐ)抽真空排氣到10Pa左右的真(zhēn)空度;接著向真空室引入等離子清洗用的氣體(根據清洗(xǐ)材質的不(bú)同,選用的氣體(tǐ)也不同,如氧氣、氫氣(qì)、氬氣(qì)、氮氣等),並(bìng)將壓力保持在100Pa左右;在真(zhēn)空室內的電極與接地裝置之間施加(jiā)高頻電壓,使氣體(tǐ)被擊穿,並(bìng)通過輝光放電使其發生離子化,產生等離子體;在真空室內產生的等離子體完全覆蓋被清(qīng)洗工件後,開始清洗作(zuò)業,清(qīng)洗過程會持續幾十秒到幾分鍾。整個過程就是依靠等離子體在電磁場內空間運動,並轟(hōng)擊被處理物體(tǐ)表麵,從而達到表麵處理、清洗和刻蝕的效果(清洗過程某種程度就是(shì)輕微的蝕刻工藝);清洗完畢後,排出汽化的汙垢及(jí)清洗氣體,同(tóng)時向真空室內(nèi)送(sòng)入空氣恢複(fù)至正常大氣壓。

 

清洗(xǐ)過程中,在旋片真空泵控製真空室的真空環境時,氣體(tǐ)的流量決定了發光色度(dù):如(rú)果色度較重,說明(míng)真空度低,氣體流量(liàng)較大;而偏(piān)白時,則是真(zhēn)空度過高,氣體流量較小;具體需要根據所需的處理效果,來確定(dìng)真空泵要(yào)實現的(de)真空度。

 

等離子清洗技(jì)術不分處理對象的基材類型,對金屬、半導體、氧(yǎng)化物和大多(duō)數高分子材料(liào)(如(rú)聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚(shèn)至聚四氟乙烯)等原基材料(liào)都能很好處理,並(bìng)可實現(xiàn)整(zhěng)體和局部(bù)以及複雜結構的清洗,還具(jù)備環保、安全、易控製等優勢,因此在很(hěn)多方(fāng)麵,尤其是精密件(jiàn)清洗、新半導體材料研究以及集(jí)成(chéng)電路器(qì)件製造業中逐漸取代了濕法清洗工藝。

 

国产精品亚洲片夜色在线旋片真空泵在等離子清(qīng)洗技術(shù)中的應用同國內(nèi)同類其他產品相比的優點:

1.使用方便,安裝,維(wéi)護簡單;

2.旋片真空泵設有氣鎮閥,可抽(chōu)除少量水蒸氣(qì);

3.旋片真空泵的極限真空度高;

4.內裝強製(zhì)進油,潤滑充分,性能可靠;

5.設(shè)有自動防返(fǎn)油雙重保險裝(zhuāng)置;

6.保持進氣壓強為1.33×10Pa時仍(réng)可連續運轉;

7.不漏油、不噴油、不汙染工(gōng)作環境。


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