2019-07-09
無油真空泵在多晶矽鑄(zhù)錠爐中的應用
無油真空泵獲得技術因其清潔抽空,節能環保等特點逐漸在各個領域得到了應用。本文就無(wú)油(yóu)真空(kōng)泵(bèng)的特點無油真空泵在多晶矽鑄錠爐(lú)中的應(yīng)用(yòng)進行一一的分析。多晶矽鑄錠爐的生(shēng)產工藝是將熱交換法和布裏曼法進行了結合,矽在鑄(zhù)錠爐內發生結晶,矽錠生產加(jiā)熱過程中底部的(de)隔熱層和爐的保溫層確保了嚴密的(de)閉(bì)合(hé)狀態,從而避免了(le)矽錠生產熱量的外泄和溫度的不均衡造成的矽錠(dìng)受熱不均衡,為矽錠長晶創造了良好的環境。
国产精品亚洲片夜色在线無油活塞真空泵在泵(bèng)腔內具有若幹組相互齧合的爪型轉子。轉子與轉子之間及轉(zhuǎn)子與(yǔ)泵腔之間並不接觸,留有微小的間隙,不用任何潤滑劑,從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結構(gòu)采用(yòng)多級轉子串連(lián)的形式,每組轉子分別位於(yú)不同泵腔做同步反方向(xiàng)運動。泵腔被爪型轉子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉子連續運轉,進行循環的吸氣排氣過程,實現了泵連續抽氣的目的。
接下(xià)來,国产精品亚洲片夜色在线小編給大家介紹一下無油活(huó)塞真空泵的工作原理和特點。
無油活塞真空泵工作原理:
連杆通過軸承(chéng)與偏心壓裝在一(yī)起,偏心輪鎖緊在電機軸上,由於轉軸的旋轉,帶動連杆往複運(yùn)動,從而實(shí)現空氣的的吸入、壓縮和排出過程。
無油真空泵的特點:
1、在使用真空,排氣的場合不含(hán)有油(yóu)分,不會像油(yóu)式真空泵那樣對作(zuò)業環境或製品造成汙染,能夠在(zài)各個領(lǐng)域使用。
2、與油式真空泵相比,不(bú)需要給泵加油,基本不需要(yào)點檢和檢修。
3、運轉(zhuǎn)聲音低,使(shǐ)用壽命長(zhǎng)。同時裝(zhuāng)備有真空壓力表,調(diào)壓控製器。
4、由於(yú)使用了特(tè)殊的自潤(rùn)滑(huá)碳精片,具有很強的耐磨性。
5、由於(yú)能夠高(gāo)速運轉,因此可以與電機直連。這(zhè)樣可使泵小型化。
6、由於多枚滑片的高速回轉,可使脈動(dòng)很小,吸排氣穩定。
多晶矽鑄錠爐已經成(chéng)為太陽能光伏產業發展的重要設備,加強其生產工藝(yì)控製技術和設(shè)備組成情況的研究有利於提高(gāo)鑄錠(dìng)爐的生產(chǎn)水平,促進矽片(piàn)生產質量的提高和太陽能光伏電池製造水平的進步。
多晶矽的加工工藝對於真空度的要求較高,無油真(zhēn)空泵在多晶矽鑄錠爐中的應用就是保持(chí)矽錠可以(yǐ)在真空狀態下得到處理。不(bú)同(tóng)的工藝環節對於真空度的要求存在較大(dà)的差異,多晶矽鑄錠爐用無油真空泵需要對爐內的壓力和真空狀態進行控製和調整。多晶矽鑄錠爐除了有基礎的抽氣設備之外還設置了壓力檢測裝置,確保爐內壓力(lì)在合適的範圍之內,為多晶矽矽錠的生長提供良好的氣氛。
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